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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
Six-axis four-subdividing interferometer 发明 US14/152991 2014-01-10
Four-axis four-subdividing interferometer 发明 US14/152984 2014-01-10
平行四边形截面梳状结构氧化锌及其制备方法 发明 CN201410002625.1 2014-01-03
三维晶体光学回音壁微腔的制备方法 发明 CN201410002624.7 2014-01-03
直视合成孔径激光成像雷达单支路扫描发射装置 发明 CN201410002623.2 2014-01-03
艾里光束加速曲线的测量方法 发明 CN201410002629.X 2014-01-03
光刻投影物镜波像差和成像最佳焦面的检测方法 发明 CN201410002627.0 2014-01-03
改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板的设计方法 发明 CN201310684126.0 2013-12-13
光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法 发明 CN201310646820.3 2013-12-04
高效率斜双层光栅 发明 CN201310645651.1 2013-12-04
光纤和空间混合的再生激光放大器 发明 CN201310645599.X 2013-12-04
宽频谱电磁屏蔽光窗 发明 CN201310628019.6 2013-11-29
基于旋转达曼光栅的多路并行激光直写装置和方法 发明 CN201310613255.0 2013-11-27
多层介质膜截止滤光片组合器件 发明 CN201310596720.4 2013-11-22
光刻机光瞳整形单元结构及其衍射光学元件设计方法 发明 CN201310576235.0 2013-11-18
提高光学元件小光斑扫描激光预处理效率的方法 发明 CN201310566601.4 2013-11-14
直线位移台运动平行度的非接触检测方法 发明 CN201310565740.5 2013-11-14
TM偏振的垂直入射石英1×2分束的双层错移光栅 发明 CN201310566835.9 2013-11-14
物体表面颜色测量装置与方法 发明 CN201310566568.5 2013-11-14
楔形透镜的检测及校正方法 发明 CN201310554406.X 2013-11-11
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