本所声明  |  联系方式  |  中国科学院  |  数字认证(OA)   |  ARP  |  English  |  邮箱
科研成果 > 专利

专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
宽光谱微弱脉冲激光能量测量系统 发明 CN201310397791.1 2013-09-04
宽光谱微弱脉冲激光能量测量系统 实用新型 CN201320548173.8 2013-09-04
基于逆达曼光栅的合束孔径填充装置 发明 CN201310390620.6 2013-08-30
织针实时监测装置和方法 发明 CN201310391005.7 2013-08-30
全内反射原位照明装置及其控制方法 发明 CN201310382156.6 2013-08-28
偏振无关电光强度调制器 发明 CN201310382160.2 2013-08-28
透射型大口径元件相位测量方法 发明 CN201310382709.8 2013-08-28
内嵌式金属网栅的电磁屏蔽光窗的制备方法 发明 CN201310380357.2 2013-08-28
Lighting system of step-and-scan projection mask aligner 发明 EP2013888527 2013-08-26
Illumination device for projection mask aligner and application method 发明 EP2013889451 2013-08-26
BELEUCHTUNGSVORRICHTUNG FüR PROJEKTIONSMASKENAUSRICHTER UND ANWENDUNGSVERFAHREN 发明 DE602013033582 2013-08-26
Illumination device for projection mask aligner and application method 发明 EP2013889451 2013-08-26
Lighting system of step-and-scan projection mask aligner 发明 EP2013888527 2013-08-26
激光脉冲拉伸装置 发明 CN201310371256.9 2013-08-22
单一高次谐波紫外单色光源 发明 CN201310371236.1 2013-08-22
光电探测器线性区间及其面响应特性测量装置 发明 CN201310371081.1 2013-08-22
用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置 发明 CN201310360623.5 2013-08-16
直视合成孔径激光成像雷达反射式双面旋转发射装置 发明 CN201310360649.X 2013-08-16
直视合成孔径激光成像雷达反射式双面平动发射装置 发明 CN201310360667.8 2013-08-16
双平板偏振移相剪切干涉仪 发明 CN201310346686.5 2013-08-09
首页上5页«6162636465»下5页尾页 共250页 共5725条记录

科研成果

copyright 2000- 中国科学院上海光学精密机械研究所 沪ICP备05015387号-1
主办：中国科学院上海光学精密机械研究所 上海市嘉定区清河路390号(201800)

转载本站信息，请注明信息来源和链接。 沪公网安备 31011402010030号


上海光机所
微信公众号

尚光聚力
微信公众号