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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法 发明 CN201310309858.1 2013-07-22
投影光刻机照明装置和使用方法 发明 CN201310307405.5 2013-07-19
轴锥镜的抛光装置和抛光方法 发明 CN201310306787.X 2013-07-19
光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法 发明 CN201310307284.4 2013-07-19
合成孔径激光成像雷达的光学成像系统与光学成像方法 发明 CN201310300362.8 2013-07-17
光刻机照明系统偏振测量用光学系统 发明 CN201310301241.5 2013-07-15
掺Yb石英光纤预制棒芯棒的制备方法 发明 CN201310294400.3 2013-07-12
大型浸没式环抛机 发明 CN201310293836.0 2013-07-12
亚微米气溶胶粒子浓缩器及其性能测试装置与测试方法 发明 CN201310291476.0 2013-07-11
TE偏振垂直入射-1级高效率倾斜透射石英光栅 发明 CN201310285669.5 2013-07-09
步进扫描投影光刻机的照明系统 发明 CN201310270245.1 2013-07-01
光控微波波束形成器 发明 CN201310270853.2 2013-07-01
环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置 发明 CN201310261124.0 2013-06-26
光栅剪切波像差检测方法 发明 CN201310261140.X 2013-06-26
傅里叶变换物镜 发明 CN201310259300.7 2013-06-26
点衍射干涉波像差测量仪及检测方法 发明 CN201310126148.5 2013-06-25
光学玻璃亚表面缺陷的检测方法 发明 CN201310251032.4 2013-06-21
线性双折射测量装置和测量方法 发明 CN201310250980.6 2013-06-21
直视合成孔径激光成像雷达分离式波面变换扫描装置 发明 CN201310250416.4 2013-06-21
两维位移调节机构 发明 CN201310250290.0 2013-06-21
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