本所声明  |  联系方式  |  中国科学院  |  数字认证(OA)   |  ARP  |  English  |  邮箱

专利库数据

专利名称: 光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法
专利类别: 发明
申请号: CN201310646820.3
申请日期: 2013-12-04