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超强激光科学卓越创新简报

(第七百九十二期)

2026年6月26日

上海光机所在大口径斐索干涉仪抗振测量领域取得进展

近日，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光元件技术与工程部光学检测与表征中心刘世杰研究员团队，在大口径、高分辨率干涉仪抗振测量技术研究中取得进展。相关成果以“Three-step iteration-based vibration-resistant measurement technique for large-aperture high-resolution interferometers”为题，发表于Optics and Lasers in Engineering。

传统三步最小二乘迭代法（TIA）虽可实现干涉测量抗振补偿与波前恢复，但当其应用于大口径、高分辨率测试场景时，存在运算量大、处理效率低下等突出问题。针对这一技术瓶颈，研究团队提出三步迭代抗振相位恢复技术（VibeResPhase）。该方法创新性地将振动参数识别与波前相位恢复分模块处理，在确保测量精度的同时，大幅优化运算逻辑。

研究团队在Φ600mm口径斐索干涉仪上开展实验验证，结果证明VibeResPhase法测量效率较传统TIA法提升8倍以上。该技术兼顾测量精度与运算速度，适配大口径、高分辨率波前抗振测量场景，为复杂环境下大口径光学元件波前误差的精密测量提供有力支撑。

原文链接

图1 VibeResPhase抗振测量技术原理图

表1 不同抗振测量技术运算时间对比表

技术名称

平均运算时间（s）

TIA

437

VibeResPhase

43

图2 不同抗振测量技术结果对比图：(a)传统TIA法波前重建结果；(b) VibeResPhase法波前重建结果；(c) 两种技术波前重建结果点对点相减差异

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