本所声明  |  联系方式  |  中国科学院  |  数字认证(OA)   |  ARP  |  English  |  邮箱

专利库数据

专利名称: 一种抛光模修盘周期的检测装置
专利类别: 实用新型
申请号: CN201921616689.5
申请日期: 2019-09-26