本所声明  |  联系方式  |  中国科学院  |  数字认证(OA)   |  ARP  |  English  |  邮箱

专利库数据

专利名称: 提高氧化薄膜损伤阈值的方法及其装置
专利类别: 发明专利
申请号: 99113782.5
申请日期: 1999-6-14