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标题: High-Production-Rate Fabrication of Low-Loss Lithium Niobate Electro-Optic Modulators Using Photolithography Assisted Chemo-Mechanical Etching (PLACE)
作者: 伍荣波;高浪;Liang, Youting;Zheng, Yong;Zhou, Junxia;Qi, Hongxin;尹狄峰;Wang, Min;Fang, Zhiwei;程亚
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: MICROMACHINES
年: 2022
卷: 13
期: 3