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标题: Application of Flow Field Analysis in Ion Beam Figuring for Ultra-Smooth Machining of Monocrystalline Silicon Mirror
作者: 王哲;吴令奇;方媛媛;顿爱欢;赵娇玲;徐学科;朱小磊
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: MICROMACHINES
年: 2022
卷: 13
期: 2