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标题: Nanoscale-Patterned Cr Films by Selective Etching Using a Heat-Mode Resist: Implications for X-ray Beam Splitter
作者: Chen, Guodong;刘星;Wei, Tao;张奎;王阳;Zhu, Zhendong;魏劲松
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: ACS APPLIED NANO MATERIALS
年: 2022
卷: 5
期: 1