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标题: Sparse bi-step raster path for suppressing the mid-spatial-frequency error by fluid jet polishing
作者: 万奎平;万嵩林;Jiang, Chen;魏朝阳;邵建达
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: OPTICS EXPRESS
年: 2022
卷: 30
期: 5