本所声明  |  联系方式  |  中国科学院  |  数字认证(OA)   |  ARP  |  English  |  邮箱

标题: Laser-Assisted Thermal Exposure Lithography: Arbitrary Feature Sizes
作者: WangZhengwei;ZhengJinlun;ChenGuodong;张奎;WeiTao;王阳;LiuXing;MoZhichang;GaoTianyu;WenMing;魏劲松
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: ADVANCED ENGINEERING MATERIALS
年: 2021
卷: 23
期: 5