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标题: Sub-pixel position estimation algorithm based on Gaussian fitting and sampling theorem interpolation for wafer alignment
作者: PanSongyong;王少卿;徐静浩;范李立;袁丰华;ShuTing;戴凤钊;YanXiaona;步扬;WangXiangzhao
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: APPLIED OPTICS
年: 2021
卷: 60
期: 31