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标题: Low-Energy Pulsed Ion Beam Technology with Ultra-High Material Removal Resolution and Widely Adjustable Removal Efficiency
作者: ZhouGuangqi;田野;ShiFeng;SongCi;TieGuipeng;ZhouGang;XieLingbo;邵建达;WuZhouling
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: MICROMACHINES
年: 2021
卷: 12
期: 11