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标题: Jones pupil decomposition and its lithographic imaging impacts
作者: 牛志元;丁明;JiangJunhai;ShangHongbo;ZhuSiyu;张方;ShiWeijie;ZengAijun;黄惠杰;NiuZhiyuan
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: APPLIED OPTICS
年: 2021
卷: 60
期: 5