本所声明  |  联系方式  |  中国科学院  |  数字认证(OA)   |  ARP  |  English  |  邮箱

标题: Efficient optical proximity correction based on virtual edge and mask pixelation with two-phase sampling
作者: ChenGuodong;李思坤;WangXiangzhao
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: OPTICS EXPRESS
年: 2021
卷: 29
期: 11