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标题: HfO2/SiO2 anti-reflection films for UV lasers via plasma-enhanced atomic layer deposition
作者: 尹超奕;朱美萍;ZengTingting;宋晨;柴英杰;邵宇川;ZhangRongjun;赵娇玲;李大伟;邵建达
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS
年: 2021
卷: 859
期: