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标题: Modeling and prediction of tool influence function under complex edge in sub-aperture optical polishing
作者: 万嵩林;魏朝阳;胡晨;顾昊金;邵建达
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: OPTICS EXPRESS
年: 2021
卷: 29
期: 15