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标题: An investigation of aluminum nitride thin films patterned by femtosecond laser
作者: 董芳;李蕊;WuGai;LiangKang;LiGuoliang;NieYangtian;GanZhiyin;CaoQiang;WangXuehui;赵全忠;LiuSheng;DongFang
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: APPLIED PHYSICS LETTERS
年: 2020
卷: 116
期: 15