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标题: Gradient-based source mask and polarization optimization with the hybrid Hopkins-Abbe model
作者: 丁明;牛志元;张方;朱玲琳;ShiWeijie;ZengAijun;黄惠杰
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS
年: 2020
卷: 19
期: 3