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标题: 脉冲CO_2激光高精度烧蚀熔石英玻璃
作者: 贺婷;曹珍;魏朝阳;邵建达
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 中国科学.物理学,力学,天文学
年: 2020
卷: 50
期: 3