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标题: 反应电子束蒸发HfO_2薄膜的结构、光学、化学和抗激光损伤特性
作者: 余振;张伟丽;朱瑞;齐红基
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 中国激光
年: 2020
卷: 47
期: 4