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标题: 大气等离子体电极结构对碳化硅去除函数的影响
作者: 宋力;顿爱欢;王哲;吴伦哲;彭冰;徐学科
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 中国激光
年: 2020
卷: 47
期: 10