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标题: Research on ultra-smooth machining technique for monocrystalline silicon substrate
作者: 王哲;吴令奇;顿爱欢;方媛媛;SongLi;朱小磊
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: JOURNAL OF MODERN OPTICS
年: 2020
卷: 67
期: 14