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标题: 磁控共溅射制备Si掺杂Al薄膜的应力研究
作者: 朱京涛;周涛;朱杰;赵娇玲;朱航宇
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 光学学报
年: 2020
卷: 40
期: 14