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标题: Comparison of magnetron sputtering and ion beam sputtering on dispersive mirrors
作者: 陈宇;Hahner, D.;Trubetskov, M.;Schrameyer, S.;Sakiew, W.;Starke, K.;Pervak, V
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: APPLIED PHYSICS B: LASERS AND OPTICS
年: 2020
卷: 126
期: 5