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标题: Influence of deposition temperature and precursor pulse time on properties of SiO2, HfO2 monolayers deposited by PEALD
作者: 尹超奕;朱美萍;宋晨;曾婷婷;许诺;王胭脂;赵元安;易葵;邵建达
论文类型: 会议论文
期刊/会议名称: Proc. SPIE
年: 2019
卷: 11064
期: