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标题: 基于超精密激光直写系统制作二维光栅
作者: 李民康;向显當;周常河;韦春龙;贾伟;项长铖;鲁云开;朱世曜
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 光学学报
年: 2019
卷: 39
期: 9