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标题: 抛光过程中光学元件表面划痕的形成和控制
作者: 汤文龙;梁尚娟;焦翔;樊全堂;尹进;朱健强
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 中国激光
年: 2019
卷: 46
期: 12