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标题: 多杆机构复合摆动轨迹抛光方法对光学元件中频误差的抑制
作者: 赖璐文;刘志刚;焦翔;朱健强
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 中国激光
年: 2019
卷: 46
期: 11