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标题: Jones pupil metrology of lithographic projection lens and its optimal configuration in the presence of error sources
作者: MengZejiang;李思坤;WangXiangzhao;步扬;WangJian;NiSheng;杨朝兴;MaoYanjie
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: OPTICS EXPRESS
年: 2019
卷: 27
期: 4