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标题: Residual flatness and scale calibration for a point autofocus surface topography measuring instrument
作者: MaculottiGiacomo;FengXiaobing;苏榕;GalettoMaurizio;LeachRichard;MaculottiG
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
年: 2019
卷: 30
期: 7