本所声明  |  联系方式  |  中国科学院  |  数字认证(OA)   |  ARP  |  English  |  邮箱

标题: Te-free SbBi thin film as a laser heat-mode photoresist
作者: 张奎;WangZhengwei;ChenGuodong;王阳;ZengAijun;朱菁;AvakawSyarhei;TsikhanchukHeorgi;ZhangKui
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: CHINESE OPTICS LETTERS
年: 2019
卷: 17
期: 9