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标题: 基于机器学习校正的极紫外光刻含缺陷掩模仿真方法
作者: 张恒;李思坤;王向朝;成维
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 光学学报
年: 2018
卷: 38
期: 12