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标题: Programmable uniformity correction by using plug-in finger arrays in advanced lithography system
作者: 程伟林;张运波;朱菁;杨宝喜;ZengAijun;黄惠杰;ChengWeilin
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: OPTICS COMMUNICATIONS
年: 2017
卷: 392
期: