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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
稳定的高对比度飞秒激光脉冲种子源 发明专利 201310102512.4 2013-3-27
利用激光制作垂直多结太阳能电池片的方法 发明专利 201310102530.2 2013-3-27
极紫外光刻厚掩模缺陷的快速仿真方法 发明专利 201310102557.1 2013-3-27
超快光脉冲时间波形的测量装置 发明专利 201310103586.X 2013-3-27
2μｍ输出无硼无碱硅酸盐激光玻璃及其制备方法 发明专利 201310103599.7 2013-3-27
防卡死的转动装置 发明专利 201310109275.4 2013-3-29
大尺寸光栅精密调整装置 发明专利 201310111259.9 2013-4-1
大尺寸光栅调整装置 实用新型 201320158063 2013-4-1
非球面面形的检测方法 发明专利 201310009872.X 2013-4-2
具有表面等离子体增强效应的一次记录光盘 发明专利 201310115973.5 2013-4-3
极紫外光刻光源收集镜污染测量装置 发明专利 201310116086.X 2013-4-3
双折射薄膜反射式位相延迟片 发明专利 201310116175.4 2013-4-3
低电压驱动电光晶体的激光器 发明专利 201310120087.1 2013-4-9
各向异性和各向同性混合薄膜反射式位相延迟片 发明专利 201310125985.6 2013-4-12
两个光束在同一入射面的位置与角度同时测量装置 发明专利 201310126130.5 2013-4-12
点衍射干涉波像差测量仪及检测方法 发明专利 201310126148.5 2013-4-12
光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法 发明专利 201310126184.1 2013-4-12
多光谱成像内窥检测系统和检测方法 发明专利 201310126185.6 2013-4-12
周期量级飞秒激光脉冲的载波-包络相位的测量方法 发明专利 201310129789.6 2013-4-15
激光器增益介质与浸没式冷却液的匹配装置和匹配方法 发明专利 201310129802.8 2013-4-15
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