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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
Y型波导激光直写装置 发明专利 201210485868.6 2012-11-26
Y型波导激光直写装置 实用新型 201220629950.7 2012-11-26
合成孔径激光成像雷达的光学成像处理装置 发明专利 201210487193.9 2012-11-26
Z扫描光学非线性测量装置和测量方法 发明专利 201210487216.6 2012-11-26
双半波全介质F-P窄带偏振分离滤光片 发明专利 201210495509.9 2012-11-28
用于紫外光刻机的光刻照明系统 发明专利 201210499556 2012-11-29
光刻照明用光瞳整形装置 发明专利 201210500655.6 2012-11-29
种子注入单频光参量振荡器 发明专利 201210506099.3 2012-11-30
正弦相位调整器峰值延迟量的标定装置和标定方法 发明专利 201210506361.4 2012-11-30
基于高速伪随机码调制和光子计数的远程激光测距系统 发明专利 201210506412.3 2012-11-30
193nm熔石英光栅起偏器及其在光刻设备中的应用 发明专利 201210506441.X 2012-11-30
窄线宽准分子激光器 发明专利 201210507225.7 2012-11-30
窄线宽准分子激光器 实用新型 201220652912.3 2012-11-30
饱和吸收消多普勒加宽谱线的装置 发明专利 201210517745.6 2012-12-5
产生超分辨光斑和超长焦深的装置 发明专利 201210529800.3 2012-12-10
可实时观察监测Z扫描光学非线性测量装置和方法 发明专利 201210540625.8 2012-12-13
合成孔径激光成像雷达大视场外差探测装置 发明专利 201210540856.9 2012-12-13
多程啁啾光纤光栅脉冲展宽装置 发明专利 201210541038 2012-12-13
高频电光体位相调制器 发明专利 201210541557.7 2012-12-13
双折射实时测量装置和测量方法 发明专利 201210563666.9 2012-12-21
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