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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
多通道试纸盘的定量检测系统及检测方法 发明专利 201310045753.X 2013-2-5
喷泉钟频率偏移不确定度的自比对评估方法 发明专利 201310065028.9 2013-3-1
CPA、CPRA与OPCPA混合式超高峰值功率激光脉冲放大装置 发明专利 201310072112.3 2013-3-6
合成孔径激光成像雷达相位差分自聚焦方法 发明专利 201310076537.1 2013-3-11
宽条幅直视合成孔径激光成像雷达 发明专利 201310076872.1 2013-3-11
反射式相位延迟片 发明专利 201310076917.5 2013-3-11
磷酸盐激光玻璃元件平行斜面间距离的测量装置 发明专利 201310078382.5 2013-3-12
反射式透明导电膜电光开关 发明专利 201310078870.6 2013-3-12
用于波前相位校正的光控变形镜装置 发明专利 201310080208.4 2013-3-13
光学元件缺陷扫描装置 发明专利 201310080269 2013-3-13
基于达曼光栅的固体激光并行放大器 发明专利 201310082470.2 2013-3-15
光刻照明模式产生装置 发明专利 201310092523.9 2013-3-21
用于激光等离子体极紫外光刻光源纯化滤波装置 发明专利 201310093540.4 2013-3-21
铕掺杂磷酸铝介孔玻璃的制备方法 发明专利 201310095177.X 2013-3-22
钬镨共掺氟化镥锂中红外激光晶体及其制备方法 发明专利 201310095187.3 2013-3-22
产生软Χ射线的方法 发明专利 201310095396.8 2013-3-22
光刻机设备用离轴照明装置 发明专利 201310096136.2 2013-3-22
光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法 发明专利 201310096140.9 2013-3-22
以太网步进电机驱动控制器 发明专利 201310097369.4 2013-3-25
半导体激光器的快速移频装置和移频方法 发明专利 201310097923.9 2013-3-25
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