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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
用于高功率激光器的调压直流发生装置 实用新型 98224624.2 1998-7-20
弹性微调支承元件 实用新型 98224625 1998-7-20
大面积透射光栅软X射线光谱仪 发明专利 98122013.4 1998-11-19
用于软X射线波段的透射光栅光谱仪 实用新型 98225672.8 1998-11-19
耐腐蚀电容器 实用新型 98225673.6 1998-11-19
远紫外激光光刻装置 实用新型 98225674.4 1998-11-19
激光等离子体参数的测量装置及其测量方法 发明专利 98122870.4 1998-12-23
激光等离子体软X射线扫描单色仪 实用新型 98247366.4 1998-12-23
三明治绝缘层灯头的脉冲放电灯 实用新型 98247367.2 1998-12-23
大口径钨与石英过渡封接的脉冲氙灯 实用新型 98247368 1998-12-23
无应力内封接的截紫外脉冲氙灯 实用新型 98247369.9 1998-12-23
被动式差动精密光学调整架 实用新型 99225685.2 1999-2-8
白光尘埃粒子计数器的高效光学探头 实用新型 99225686 1999-2-8
二维转动微调整架 实用新型 99225687.9 1999-2-8
有自定位的光纤共焦扫描显微镜 发明专利 99113633 1999-4-14
共焦扫描检测材料面形的方法 发明专利 99113699.3 1999-5-13
提高氧化薄膜损伤阈值的方法及其装置 发明专利 99113782.5 1999-6-14
腔长恒定的激光器 发明专利 99113783.3 1999-6-14
高熔点金属原子束发射源 实用新型 99227855.4 1999-7-15
精密调整回转台 实用新型 99227856.2 1999-7-15
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