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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
一种真空多层隔热系统 发明 CN202010521607.X 2020-06-10
用于全芯片光源掩模优化的关键图形筛选方法 发明 CN202010511974.1 2020-06-08
基于电光调制的啁啾脉冲光谱整形装置及方法 发明 CN202010499011.4 2020-06-04
高功率多单频光纤激光倍频系统和方法 发明 CN202010498253.1 2020-06-04
利用宽光谱比值实现光栅掩膜实时显影监测的装置和监测方法 发明 CN202010488462.8 2020-06-02
54度～62度入射使用的宽谱脉宽压缩光栅 发明 CN202010488461.3 2020-06-02
窄线宽激光大范围频率快速调谐的装置 发明 CN202010485576.7 2020-06-01
一种用于全芯片光源掩模联合优化关键图形筛选的掩模图形频谱包络分割方法 发明 CN202010412950.0 2020-05-15
一种原子芯片用双重保护电路 发明 CN202010396020.0 2020-05-12
吸收性缺陷单光束光热测量装置 实用新型 CN202020764330.9 2020-05-11
超薄光学元件的加工方法 发明 CN202010353969.2 2020-04-29
光栅压缩器内部时空畸变的补偿方法 发明 CN202010343859.8 2020-04-27
基于离子束辅助纳米叠层解决电子束沉积薄膜龟裂的方法 发明 CN202010327812.2 2020-04-23
光纤干涉仪臂长差测试系统 实用新型 CN202020610703.7 2020-04-22
高导向性的微调丝杆组件 实用新型 CN202020575162.9 2020-04-17
基于轮廓表征的全芯片光源掩模优化关键图形筛选方法 发明 CN202010304241.0 2020-04-17
基于多宽度表征的全芯片光源掩模优化关键图形筛选方法 发明 CN202010304673.1 2020-04-17
循环冷却控制系统 实用新型 CN202020540852.0 2020-04-14
一种双波长双模式的动态数字散斑干涉测量装置及方法 发明 CN202010285846.X 2020-04-13
高峰值功率飞秒激光负/正啁啾脉冲级联放大系统 发明 CN202010278955.9 2020-04-10
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