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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
基于分布式SPGD算法的多光束相位控制方法及其装置 发明 CN202010799257.3 2020-08-11
提高检测速度的投影物镜波像差检测装置及检测方法 发明 CN202010799258.8 2020-08-11
222nm波长深紫外脉冲激光源 发明 CN202010795236.4 2020-08-10
相位调制解调的高功率倍频单频激光产生装置 发明 CN202010788103.4 2020-08-07
基于双采样率像素化掩模图形快速光学邻近效应修正方法 发明 CN202010770073.4 2020-08-03
一种电阻点焊电极 实用新型 CN202021558337.1 2020-07-31
一种焊接电极的修磨刀片 实用新型 CN202021530647.2 2020-07-29
复合功能色散镜结构 发明 CN202010729510.8 2020-07-27
一种自导向电极修磨装置 实用新型 CN202021479704.9 2020-07-24
球罩光学元件的加工方法 发明 CN202010723051.2 2020-07-24
一种深紫外退偏器检测装置及检测方法 发明 CN202010689303.4 2020-07-17
一种激光系统光学调整架及其电调装置和电调方法 发明 CN202010685602.0 2020-07-16
基于协方差矩阵自适应进化策略算法的光源掩模优化方法 发明 CN202010686257.2 2020-07-16
基于无芯光纤的泵浦与信号合束器及其制备方法 发明 CN202010679086.0 2020-07-15
双光束激光扫描装置 实用新型 CN202021375093.3 2020-07-14
磁流变抛光魔法角度-步距下无中频误差的加工方法 发明 CN202010645628.2 2020-07-07
激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法 发明 CN202010625999.4 2020-07-01
一种动态双波长移相干涉测量装置和测量方法 发明 CN202010609106.7 2020-06-29
多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置与方法 发明 CN202010609181.3 2020-06-29
基于波长可调谐脉冲激光源的水下距离选通高光谱成像系统 发明 CN202010529165.3 2020-06-11
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