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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法 发明 CN201410088185.6 2014-03-11
合成孔径激光成像雷达的光学自聚焦成像装置与成像方法 发明 CN201410088151.7 2014-03-11
光束相位在线测量装置和测量方法 发明 CN201410081914.5 2014-03-07
超短激光脉冲飞秒量级延时同步方法 发明 CN201410081766.7 2014-03-07
位移台通用运动控制系统 发明 CN201410081753.X 2014-03-07
光学元件测量装置和测量方法 发明 CN201410083597.0 2014-03-07
位移台通用运动控制系统 实用新型 CN201420101809.9 2014-03-07
光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法 发明 CN201410075046.X 2014-03-04
含氟低折射率Yb3+掺杂石英玻璃的制备方法 发明 CN201410070217.X 2014-02-28
多组分玻璃全固态带隙型光子晶体光纤的制备方法 发明 CN201410066610.1 2014-02-26
筒长无限的显微物镜光学系统 发明 CN201410067677.7 2014-02-26
消除高阶色散的啁啾脉冲展宽压缩放大系统 发明 CN201410083576.9 2014-02-26
筒长无限的显微物镜光学系统 实用新型 CN201420083669.7 2014-02-26
透射型光学元件分层相位成像的装置和方法 发明 CN201410064172.5 2014-02-25
可实现多孔径变化的小孔光阑部件 发明 CN201410059833.5 2014-02-21
可实现多孔径变化的小孔光阑部件 实用新型 CN201420074738.8 2014-02-21
基于脉冲分割的飞秒激光脉冲宽度压缩装置 发明 CN201410056863.0 2014-02-20
大型透反式镜片非垂直放置的挠性支撑装置和支撑方法 发明 CN201410050220.5 2014-02-13
长镜筒内透镜的安装工具 发明 CN201410049792.1 2014-02-13
长镜筒内透镜的安装工具 实用新型 CN201420064857.5 2014-02-13
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