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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
大口径衍射光栅曝光装置及大口径衍射光栅的制备方法 发明 CN201510133314.3 2015-03-25
单气溶胶粒子形状实时检测装置 发明 CN201510130255.4 2015-03-24
双波长光学实时气溶胶粒子粒径检测装置 发明 CN201510130227.2 2015-03-24
中心频率可调谐的半导体激光器稳频装置和稳频方法 发明 CN201510130239.5 2015-03-24
一种玻璃材料气溶胶聚焦气路样气管道及其制作方法 发明 CN201510130763.2 2015-03-24
基于平面镜的高光学细分光栅干涉仪 发明 CN201510127875.2 2015-03-23
一种基于达曼光栅的彩色三维轮廓测量装置与方法 发明 CN201510127832.4 2015-03-23
一种特制双螺纹连接器 发明 CN201510115316.X 2015-03-17
基于高密度光栅的高分辨率光栅干涉仪 发明 CN201510102709.7 2015-03-10
一种用于光刻机的光源掩模优化方法 发明 CN201510097250.6 2015-03-05
气压驱动的阵列式激光增益介质面型调控机构 发明 CN201510080654.4 2015-02-15
多脉冲组合泵浦的LPP?EUV光源系统 发明 CN201510080857.3 2015-02-15
高细分高密度光栅干涉仪 发明 CN201510080676.0 2015-02-15
超短脉冲的时间波形和啁啾率的测量装置及测量方法 发明 CN201510079310.1 2015-02-13
基于全反射镜的二维光谱测量装置及测量方法 发明 CN201510067863.5 2015-02-10
极紫外光刻掩模多层膜振幅型缺陷衍射谱的快速仿真方法 发明 CN201510068050.8 2015-02-10
长度可变的旋转工装夹具 发明 CN201510069651.0 2015-02-10
一种用于白光LED荧光转换的复合相透明陶瓷及其制备方法 发明 CN201510067861.6 2015-02-10
Si/Ti掺杂的铽铝石榴石法拉第磁旋光透明陶瓷及其制备方法 发明 CN201510067865.4 2015-02-10
一种实现不同距离元件夹紧和旋转的夹具 实用新型 CN201520092456.5 2015-02-10
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