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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
窄线宽激光频率线性调谐装置 发明 CN201510340317.4 2015-06-18
光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法 发明 CN201510325941.7 2015-06-15
一种基于磁悬浮的转盘激光器 发明 CN201510329943.3 2015-06-15
具有双六角锥外形的氮化铝微米颗粒及其制备方法 发明 CN201510315940.4 2015-06-10
大口径光学镜片夹具 发明 CN201510304283.3 2015-06-04
超短光脉冲近场关联脉宽测量装置和测量方法 发明 CN201510304214.2 2015-06-04
相位掩模板切换装置 发明 CN201510289804.2 2015-05-29
高效过滤器多探头检漏装置 发明 CN201510279646.2 2015-05-28
高灵敏度双光纤光缆传感器 发明 CN201510273837.8 2015-05-26
极紫外光刻含相位型缺陷接触孔掩模衍射谱的快速仿真方法 发明 CN201510273829.3 2015-05-26
直视合成孔径激光成像雷达非线性校正方法 发明 CN201510270195.6 2015-05-25
基于溶胶射流靶的LPP?EUV光源系统 发明 CN201510270184.8 2015-05-25
数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法 发明 CN201510256096.2 2015-05-19
可调贝塞尔光束产生装置及其高阶圆环达曼光栅的设计方法 发明 CN201510242132.X 2015-05-13
光学隔振平台自动调整高度阀 发明 CN201510240249.4 2015-05-13
光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法 发明 CN201510237227.2 2015-05-12
镜框俯仰角度调整装置 发明 CN201510225591.7 2015-05-06
双焦光子筛及其设计方法 发明 CN201510220921.3 2015-05-04
自准直光栅干涉仪的高光学细分结构 发明 CN201510216014.1 2015-04-30
高分辨率数字全息显微成像装置和成像方法 发明 CN201510210568.0 2015-04-28
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