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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
宽带低色散啁啾镜的设计方法 发明 CN202110062472.X 2021-01-18
基于多波长效应下的薄膜元件时域动态电场仿真方法 发明 CN202110056317.7 2021-01-15
涡旋光轨道角动量数的测量装置及其测量方法 发明 CN202110054607.8 2021-01-15
基于全光纤光谱干涉的单次多路同步测量方法及装置 发明 CN202110031293.X 2021-01-11
一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法 发明 CN202110021643.4 2021-01-08
一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置 实用新型 CN202120033360.7 2021-01-07
熔石英光学元件表面缺陷的增材修复方法及装置 发明 CN202110006705.4 2021-01-05
波导楔形镜整形抽运光的五向抽运放大器 发明 CN202110001735.6 2021-01-04
一种倍频激光产生装置 发明 CN202110001753.4 2021-01-04
光学相干层析成像系统色散补偿方法 发明 CN202011517122.X 2020-12-21
一种超快时间复振幅测量装置和方法 发明 CN202011461528.0 2020-12-11
基于协方差矩阵自适应演化策略的光刻机匹配方法 发明 CN202011457382.2 2020-12-10
一种消除相干合束中束间空间抖动及优化光束质量的方法 发明 CN202011388156.3 2020-12-01
一种基于光参量啁啾脉冲放大的径向或角向偏振光激光装置 发明 CN202011384194.1 2020-12-01
1064纳米波段的非对称结构全介质反射式合束光栅 发明 CN202011336817.8 2020-11-25
高功率激光系统中的级联自准直装置 发明 CN202011327301.7 2020-11-24
精确定位复位支承机构 发明 CN202011329323.7 2020-11-24
提升超快激光薄膜性能的多参数综合优化膜系设计方法 发明 CN202011317467.0 2020-11-23
一种矢量补偿体布拉格光栅角度偏转器的制备方法 发明 CN202011311195.3 2020-11-20
自适应调整负刚度的准零刚度隔振器 发明 CN202011283191.9 2020-11-17
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