专利
| 专利名称 | 专利类别 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| 超百瓦功率的铜蒸气激光器 | 实用新型 | ||
| 同光路连续自动可调衰减器 | 实用新型 | ||
| 封离式二氧化碳激光器 | 实用新型 | ||
| 光纤耦合检测器 | 实用新型 | ||
| 潜藏式钨与石英过渡封接的脉冲氙灯 | 实用新型 | ||
| 检测大型激光放大器的L形菲索干涉仪 | 发明专利 | ||
| 单脉冲自相关测量仪 | 实用新型 | ||
| 三阶相关测量仪 | 实用新型 | ||
| 无反射光温暖型台板 | 实用新型 | ||
| 短弧脉冲气体放电灯放电装置 | 发明专利 | ||
| 线条倾斜测量误差自动补偿方法 | 发明专利 | ||
| 远紫外激光光刻装置 | 实用新型 | ||
| 三明治绝缘层灯头的脉冲放电灯 | 实用新型 | ||
| 无应力内封接的截紫外脉冲氙灯 | 实用新型 | ||
| 激光等离子体软X射线扫描单色仪 | 实用新型 | ||
| 用于高功率激光器的调压直流发生装置 | 实用新型 | ||
| 大口径钨与石英过渡封接的脉冲氙灯 | 实用新型 | ||
| 二维转动微调调整架 | 实用新型 | ||
| 激光导光臂 | 实用新型 | ||
| 可限位的同步传动构件 | 实用新型 |