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专利

专利名称 专利类别 申请号 申请日期
光刻机空间像噪声评估及滤波方法 发明专利 201110164996.6 2011-6-17
光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法 发明专利 201110167236 2011-6-21
高功率光纤激光器功率在线监测装置 发明专利 201110168339.9 2011-6-22
激光器噪声特性的测量装置 发明专利 201110172609.3 2011-6-24
基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法 发明专利 201110172627.1 2011-6-24
9,10-二烷氧基-2,6-二（芳香基）-蒽及其制备方法 发明专利 201110181677.6 2011-6-30
基于掺磷光纤的1178nm拉曼光纤放大器 发明专利 201110181593.2 2011-6-30
延长焦深的并行激光直写装置 发明专利 201110187540.1 2011-7-6
用于高数值孔径物镜的圆环达曼光栅 发明专利 201110187539.9 2011-7-6
多光束激光并行直写光栅置及光栅直写方法 发明专利 201110188988.5 2011-7-7
控制气体氛围的飞秒激光微纳加工装置及其加工方法 发明专利 201110188918.X 2011-7-7
利用飞秒激光在玻璃内部直写微机械零件的方法 发明专利 201110193072.9 2011-7-12
全光纤多波长星载激光高度计的发射源 发明专利 201110193566.7 2011-7-12
平板有色玻璃滤光片均匀性的检测装置和方法 发明专利 201110196834 2011-7-14
自参考光谱干涉飞秒激光脉冲的实时测量方法和装置 发明专利 201110198352.9 2011-7-15
基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法 发明专利 201110202648.3 2011-7-20
镍离子掺杂锗锑碲荧光相变信息存储材料及其制备方法 发明专利 201110202663.8 2011-7-20
铝铜锑相变薄膜及其制备方法 发明专利 201110204069.2 2011-7-21
光刻机投影物镜奇像差原位检测系统和检测方法 发明专利 201110206616 2011-7-22
六轴4细分干涉仪 发明专利 201110206449.X 2011-7-22
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