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标题: Controlling lateral thickness distributions of magnetron sputtering deposited coatings using shadow masks
作者: Chen, Shanglin; Sun, Jian; Li, Jingping; Yi, Kui; Wang, Chenfei; Shao, Jianda; Zhu, Meiping
论文类型:
期刊/会议名称: OPTICAL MATERIALS EXPRESS
年: 2024
卷: 14
期: 1