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标题: 基于广度优先搜索的全芯片光源掩模优化关键图形筛选方法
作者: 杨欣华;江一鹏;李思坤;廖陆峰;张双;张利斌;张生睿;施伟杰;韦亚一;王向朝
论文类型:
期刊/会议名称: 光学学报
年: 2024
卷: 44
期: 9