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标题: Modifying single-crystal silicon and trimming silicon microring devices by femtosecond laser irradiation
作者: Du, Jia; Zhou, Libing; Xu, Weixiao; Zhao, Yuanan; Chen, Mingzhe; Zhang, Boyu; Chen, Weibiao
论文类型:
期刊/会议名称: OPTICS EXPRESS
年: 2024
卷: 32
期: 9